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300-900nm 铌酸锂单晶薄膜
300-900nm 钽酸锂单晶薄膜
5μm-50μm 铌酸锂/钽酸锂单晶薄膜
LT 20um-60um超薄晶片
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晶片减薄
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晶体薄膜系列产品 提供专业代工服务
晶片减薄服务
技术指标:
材质
铌酸锂、钽酸锂、
硅等
尺寸
3/4/6 inch
厚度
20~1000μm
TTV
<1μm
Ra
<0.15μm
PECVD沉积服务
晶片尺寸
3-6英寸晶圆片
沉积厚度
0.5μm-5μm
<±5%
CMP晶圆抛光服务
3~6英寸
铌酸锂、钽酸锂、硅、氧化硅等
<0.5nm
<±3%
最大可加工6英寸晶圆片
可加工材质
各种半导体晶圆,电子零件